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簡要描述:大平臺微分干涉金相顯微鏡 DMM-1200C,可對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用;可進行明場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
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一、 DMM-1200C型微分干涉金相顯微鏡的主要用途和特點:
DMM-1200微分干涉金相顯微鏡(DIC)采用優(yōu)質(zhì)的無限遠光學系統(tǒng),微分干涉相襯顯微鏡適用于對多種物體的顯微觀察。配置落射DIC觀察系統(tǒng)與透射照明系統(tǒng)、無限遠長距平場消色差物鏡、大視野目鏡和偏光觀察裝置,具有圖像立體感且清晰、造型美觀,操作方便等特點,是生物學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子學等研究的理想儀器,可選用微分干涉(DIC)觀測、獲得高清晰的圖像,使圖像襯度更好,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用;可進行明場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
DMM-1200C電腦型微分干涉金相顯微鏡是將光學顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計算機成像技術(shù)結(jié)合在一起而開發(fā)研制成功的一項高科技產(chǎn)品。既可人工觀察金相圖像,又可以在計算機上很方便地適時觀察金相圖像,并可隨時拍攝記錄金相圖片,從而對金相圖譜進行分析,評級等,還可以保存或打印出高像素金相照片。
二、微分干涉金相顯微鏡儀器的主要技術(shù)指標:
名稱 | 參數(shù)規(guī)格 | ||
目鏡筒 | 三目觀察筒,鉸鏈式,傾斜30度,分光比:觀察80% 攝影20%;或觀察100% 攝影100% | ||
目鏡 | 大視野 | WF10X(Φ22mm) | |
WF20X(Φ12mm) | |||
平場分劃 | 10X/Φ20mm(0.10mm/格值) | ||
物鏡 | 無限遠長工作距離平場消色差 | 放大倍數(shù)/數(shù)值孔徑 | 有效工作距離 |
PL5X/0.12 | 26.1mm | ||
PLL10X/0.25 | 20.2mm | ||
PLL20X/0.4 | 8.8mm | ||
PLL40X/0.6 | 3.98mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) | ||
調(diào)焦機構(gòu) | 同軸粗微動調(diào)焦機構(gòu),帶鎖緊和限位裝置, 調(diào)焦范圍30mm 微動格值0.8μm | ||
載物臺 | 臺面尺寸:280mm*270mm; | ||
| 移動范圍:橫向(X)204mm,縱向(Y)204mm | ||
濾片組 | 全系列濾色片 | ||
照明系統(tǒng) | 落射照明12V/50W,鹵素燈,中心、亮度連續(xù)可調(diào) | ||
透射照明大功率LED燈照明,亮度可調(diào),阿貝聚光鏡 NA.1.25 可上下升降,藍濾色片和磨砂玻璃,集光器(內(nèi)置視場光欄) | |||
偏光裝置 | 起偏振器,可360度旋轉(zhuǎn),可推拉切換 | ||
檢偏振器,可推拉切換 | |||
微分干涉觀察 | 可使用于5X、10X、20X | ||
電腦型攝像系統(tǒng) CK-500 | CK-500彩色攝像機: 分辨率:2560×1920,功耗小,連接簡單:USB接口, 圖像質(zhì)量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定,所有攝像機均經(jīng)過長時間測試 ,體積小,安裝方便,采集方式:連續(xù)采集,圖像大小可調(diào),增益調(diào)節(jié),曝光時間調(diào)整,增益調(diào)。 |
三、系統(tǒng)的組成 :
1、微分干涉金相顯微鏡DMM-1200 2、攝像機接口
3、彩色數(shù)字攝像機CK-500 4、計算機(選購)
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