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簡(jiǎn)要描述:DJM-300系列太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡,選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件,配有超大視場(chǎng)目鏡、落射照明器、平場(chǎng)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡,是針對(duì)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、太陽(yáng)能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開(kāi)發(fā)的,作為高級(jí)工業(yè)金相顯微鏡使用???/p>
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一、DJM-300C太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡的特點(diǎn)和用途:
DJM-300系列太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡,選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件,配有超大視場(chǎng)目鏡、落射照明器、平場(chǎng)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡,是針對(duì)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、太陽(yáng)能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開(kāi)發(fā)的,作為高級(jí)工業(yè)金相顯微鏡使用??蛇M(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)太陽(yáng)能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。系統(tǒng)配置了優(yōu)質(zhì)無(wú)限遠(yuǎn)光路系統(tǒng)、三目透反射顯微鏡DJM-300C、500萬(wàn)高清晰數(shù)字?jǐn)z像頭及圖像測(cè)量管理軟件,可對(duì)太陽(yáng)能電池板圖像進(jìn)行檢查、拍照、測(cè)量、編輯和保存輸出等多種操作。是太陽(yáng)能電池硅片檢查的理想儀器。
性能特點(diǎn):
1、采用了較先進(jìn)的光學(xué)顯微鏡與現(xiàn)代成像分析融為一體的圖像測(cè)量技術(shù)。
2、可對(duì)太陽(yáng)能電池硅片進(jìn)行檢查、拍照、測(cè)量、保存、輸出等多種操作。
3、系統(tǒng)配置了優(yōu)質(zhì)無(wú)限遠(yuǎn)光路系統(tǒng)、大尺寸工作臺(tái)的三目透反射顯微鏡。
4、可以測(cè)量太陽(yáng)能電池片裂紋長(zhǎng)度,崩邊長(zhǎng)度角度,印刷位移角度偏差。
5、可以測(cè)量主、副柵線,背電極的寬度、均勻度、柵線間距離及副柵線 到電池邊的距離,柵線、斷線長(zhǎng)度,斷線缺損和變色的面積。
6、可以檢查太陽(yáng)能電池表面顏色色差、絨面色斑亮斑,裂紋,崩邊,掉 角缺口,印刷偏移主副柵線、背電極的斷線,缺損,扭曲,變色等現(xiàn)象。
7、可對(duì)雜質(zhì)、殘留物成分進(jìn)行分析。雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等。
三、DJM-300C太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡的參數(shù)及配置:
名 稱(chēng) | 參數(shù)規(guī)格 | |
觀察鏡筒 | 鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒,30度傾斜,100%通光攝影。瞳距調(diào)節(jié)范圍:50-75mm,視度可調(diào) | |
目鏡 | 大視野目鏡WF10X(Ф22mm) | |
大視野目鏡WF15X(Ф16mm) (選購(gòu)) | ||
大視野目鏡WF20X(Ф12mm) (選購(gòu)) | ||
WF10X(Ф22mm)大視野分劃目鏡(0.10mm/格) | ||
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差物鏡 | 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)金相物鏡 | PL L40X/0.60 BD 工作距離:3.0 mm |
微分干涉物鏡(DIC) | LMPlan5X/0.12 DIC 工作距離:18.2 mm | |
LMPlan10X/0.25DIC 工作距離:20.2 mm | ||
LMPlan20X/0.35DIC 工作距離:6.0mm | ||
調(diào)焦系統(tǒng) | 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值:2μm,左調(diào)焦帶鎖緊裝置,右調(diào)焦帶限位裝置 | |
載物臺(tái) | 雙層機(jī)械式移動(dòng)載物臺(tái),外形尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍75mmX50mm. | |
載物板 | 透光玻璃載物板,大小:97*76mm | |
轉(zhuǎn)換器 | 五孔內(nèi)彎式物鏡轉(zhuǎn)換器(滾珠內(nèi)定位) | |
偏光裝置 | 插入式起偏、檢偏裝置,可360度旋轉(zhuǎn)檢偏鏡,起偏和檢偏均可移出光路 | |
DIC調(diào)節(jié)系統(tǒng) | 適用于 LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20X DIC物鏡 | |
暗場(chǎng)裝置 | 推拉式暗場(chǎng)觀察拉桿,快速明視場(chǎng)暗視場(chǎng)觀察轉(zhuǎn)換 | |
落射照明系統(tǒng) | 12V50W鹵素?zé)?,亮度可調(diào) | |
落射式柯勒照明系統(tǒng),內(nèi)置視場(chǎng)光欄,孔徑光欄調(diào)節(jié) | ||
可拆卸式燈箱,雙引腳插入式燈座,燈箱外有燈絲位置移動(dòng)旋鈕 | ||
轉(zhuǎn)盤(pán)式藍(lán)、黃、綠、磨砂濾色片組 | ||
透射照明系統(tǒng) | 12V30W 鹵素?zé)?亮度可調(diào) | |
阿貝聚光鏡NA.1.25,可調(diào)孔徑光欄,中心可調(diào),可上下升降 | ||
集光器:可調(diào)視場(chǎng)光欄 | ||
藍(lán)色和磨砂玻璃濾色片 | ||
電腦攝像系統(tǒng) | CK-500彩色攝像機(jī): 分辨率:2560×1920,功耗小,連接簡(jiǎn)單:USB接口, 圖像質(zhì)量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定,所有攝像機(jī)均經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試 ,體積小,安裝方便,采集方式:連續(xù)采集,圖像大小可調(diào),增益調(diào)節(jié),曝光時(shí)間調(diào)整,增益調(diào)。 |
四、DJM-300C太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡系統(tǒng)的組成 :
1、微分干涉顯微鏡 2、攝像機(jī)接口
3、彩色數(shù)字?jǐn)z像機(jī)CK-500 4、計(jì)算機(jī)(選購(gòu))
五、儀器選購(gòu)件:
1、無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差明暗場(chǎng)物鏡: PLL50X; PLL60X ;PLL80X;PL100X
2、攝影接口:0.5X攝像接口
3、攝像機(jī): CK-1600像素?cái)z像機(jī),進(jìn)口CCD芯片攝像系統(tǒng)
4、數(shù)碼相機(jī)拍照系統(tǒng):包含數(shù)碼相機(jī)及專(zhuān)業(yè)相機(jī)接口
5、金相分析軟件DM-3000
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